Prinsipyo ng control ng presyon ng kagamitan sa patong ng vacuum

1. Panimula sa Background
Ang kagamitan sa patong ng vacuum ay isang uri ng kagamitan na malawakang ginagamit sa paggawa ng pang -industriya. Ang pangunahing pag -andar nito ay upang ilagay ang materyal na kailangang pinahiran sa silid ng patong ng vacuum, at sa pamamagitan ng reaksyon sa ilalim ng mataas na temperatura at mataas na kapaligiran ng vacuum, ang layer ng pelikula ay pantay na idineposito sa ibabaw ng materyal. , at bumuo ng isang tiyak na layer ng patong na may mga espesyal na pag -andar at katangian. Kabilang sa mga ito, ang vacuum degree at adhesion rate sa kagamitan ay mahalagang mga tagapagpahiwatig na nakakaapekto sa kalidad ng layer ng patong, at ang katatagan ng degree ng vacuum ay nakasalalay sa kontrol ng presyon sa kagamitan.
2. Prinsipyo ng kontrol ng presyon ng kagamitan sa patong ng vacuum
1. Kahulugan ng degree sa vacuum
Bago ipakilala ang prinsipyo ng control control, kinakailangan upang ipakilala kung ano ang vacuum. Sa pisika, ang vacuum ay tumutukoy sa isang kapaligiran ng gas na ang presyon ay mas mababa sa presyon ng atmospera, kaya ang antas ng vacuum ay tumutukoy sa presyon ng gas sa isang tiyak na puwang. Sa pangkalahatan, ang vacuum ay karaniwang sinusukat sa Pascals (PA) o metro bar (MBAR). Sa mga kagamitan sa patong ng vacuum, ang karaniwang hanay ng vacuum ay 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Ang prinsipyo ng kontrol sa presyon
Kapag ang vacuum ay masyadong mataas o masyadong mababa, makakaapekto ito sa normal na operasyon ng kagamitan. Samakatuwid, kinakailangan upang makontrol ang antas ng vacuum sa kagamitan sa pamamagitan ng isang tiyak na pamamaraan. Kabilang sa mga ito, ang control control ay isang medyo simple at mahusay na paraan ng kontrol. Partikular, ang prinsipyo ng control control ay ang paggamit ng isang presyon ng presyon upang makontrol ang rate ng daloy ng gas sa kagamitan sa pamamagitan ng pagtuklas ng presyon ng kinokontrol na pagtatapos, at pagkatapos ay sa pamamagitan ng mekanismo ng puna, sa pamamagitan ng pagkontrol sa pagbubukas ng balbula, upang makamit ang layunin ng pagkontrol sa presyon.
3. Ang pangunahing komposisyon ng presyon ng controller
Sa mga kagamitan sa patong ng vacuum, ang isang controller ng presyon ay karaniwang ginagamit upang makontrol ang presyon. Ang pangunahing komposisyon nito ay may kasamang apat na bahagi: sensor ng pagtuklas, magsusupil, actuator at control system.
Detection Sensor: Pangunahing ginagamit ito upang makita ang pagbabago ng presyon ng kinokontrol na dulo at i -convert ito sa isang kaukulang output ng signal ng elektrikal para magamit ng magsusupil.
Controller: Pangunahing natatanggap nito ang output ng signal ng elektrikal ng sensor, mga proseso at pinag -aaralan ito, at pagkatapos ay pinapakain ang resulta ng pagsusuri pabalik sa actuator upang makontrol ang pagbubukas ng antas ng actuator.
Actuator: Pangunahing kinokontrol nito ang rate ng daloy ng gas sa kagamitan sa pamamagitan ng pagkontrol sa pagbubukas ng antas ng balbula, upang makamit ang layunin ng pagkontrol sa presyon.
Control System: Pangunahing ginagamit ito upang masubaybayan at kontrolin ang iba't ibang mga tagapagpahiwatig sa kagamitan, tulad ng temperatura, degree sa vacuum, atbp, at gumawa ng isang serye ng mga diskarte sa kontrol.
3. Buod
Sa buod, ang prinsipyo ng kontrol ng presyon sa kagamitan sa patong ng vacuum ay upang makontrol ang presyon sa kagamitan sa pamamagitan ng medyo simple at mahusay na mekanismo ng feedback. Upang maitaguyod ang tulad ng isang matatag na sistema ng kontrol ay nangangailangan ng teknikal na suporta ng iba't ibang mga aspeto ng sistema ng kontrol ng kagamitan, tulad ng pagsubaybay sa parameter, control algorithm, control actuator, link ng system, atbp. Ang mga teknikal na kadahilanan na ito ay nangangailangan ng kooperasyon ng ilang mga propesyonal at teknikal na tauhan upang matiyak na ang kagamitan ay maaaring magpakita ng mas mahusay na pagganap.